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Z轴升降运动系统

  传统的Z轴楔垂直平台,至少包括复杂的弯角、3套导轨、带联轴器和编码器的电机这些结构件,每个组件都会增加整体误差,严重影响系统整体的精确度。

  ALIO摒弃这种设计,提供了一系列高精度、高重复性的垂直平台。

(点击图片查看大图)

NANO Z™

NANO Z™
NANO Z™
  为了满足不断提高的纳米级的计量和加工要求,ALIO摒弃传统设计,设计并制造Z轴升降气浮导轨平台产品,采用Renishaw的标准铟钢编码器,可将精度提高至小于100纳米。该系列产品加配重后可轻松地夹持住重型真空晶圆夹头,在超过24毫米的行程上依然有纳米级精度。

机械导轨Z轴平台

Mechanical Bearing Z Stage
机械导轨Z轴平台
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 线性或音圈马达
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 大推力马达
  • 线性编码器
  • 气浮配重
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上
  • 载物可直接安装于平台表面或顶端以消除加装支架带来的缺点和共振等问题
  • 出色的动态性能

紧凑型音圈Z轴平台

Compact Voice Coil Z Stage
紧凑型音圈Z轴平台
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 设计紧凑,高度低
  • 音圈马达
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 线性编码器
  • 气浮配重
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上
  • 载物可直接安装于平台表面或顶端以消除加装支架带来的缺点和共振等问题
  • 精度比Z轴楔平台提高4到8倍

压电马达Z轴平台

Piezo Motor Z Stages
压电马达Z轴平台
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 设计紧凑,高度低
  • 压电伺服马达
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 线性编码器
  • 配重
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上
  • 精度比Z轴楔平台提高4到8倍

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线性马达配重Z轴平台

Linear Motor Counter Balanced Z Stage
线性马达配重Z轴平台
该系列Z轴升降平台的特点:
  • ALIO独有的纳米精度设计
  • 线性伺服马达
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 线性编码器
  • 通过双无摩擦气缸配重,气缸与马达、导轨、编码器同轴,不会带来阿贝误差
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上

气浮导轨线性马达Z轴平台

Air Bearing Linear Motor Z Stages
气浮导轨线性马达Z轴平台
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 花岗岩底座确保卓越的平面度和直线度
  • 线性伺服马达
  • 高刚性、纳米精度的气浮导轨
  • 线性编码器
  • 通过双无摩擦气缸配重,气缸与马达、导轨、编码器同轴,不会带来阿贝误差
  • 如需要可调整配重支架以确保配重力通过负载中心转移
  • 马达、导轨、编码器和配重均在平台的近似中心线上

垂直安装XY平台系统

Vertical Mount XY Stage System
垂直安装XY平台系统
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 线性或压电伺服马达
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 线性编码器
  • 通过单或双无摩擦气缸配重

恒力弹簧配重

Constant Force Spring Counterbalance
恒力弹簧配重
该系列Z轴升降平台的特点:
  • 兼容真空环境
  • 可配置特定的配重
  • 支持长行程
  • 高刚性交叉滚柱导轨
  • 线性编码器

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