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旋转运动系统

  ALIO为满足并超越当今高精度旋转运动的需求,ALIO开发了真纳米精度旋转平台。该产品线日渐丰富,我们愿与广大客户合作,提供解决方案,满足客户需求。

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机械转动平台

Mechanical Rotary Stages
机械转动平台
  机械导轨旋转平台设计非常讲究,采用交叉滚柱导轨以提高刚性、抵消承重、提高旋转精度,配备无框架转矩伺服电机,能够处理大部分对承重和加速度有极高要求而仍要保证纳米级精度的应用。ALIO关注于安装在旋转类和线性产品上的材料和装置,保证导轨和金属件在极度抛光的平行平面上的固定,如展示中的抛光面转台上的固定。
  配备指定的控制器,ALIO旋转平台可提供0.2弧秒的可重复性。标准机械交叉滚柱导轨在轴向和径向的额定跳动值为13到20微米,要达到低于5微米可选配指定型号。
  该系列产品可选配多种马达尺寸,以满足各种占空比、质量、加速度需求,直径范围从80毫米到300毫米。

气浮导轨旋转平台

Air Bearing Rotational Stages
气浮导轨旋转平台
  如对跳动要求非常严格,用户可从我们日渐丰富的气浮导轨旋转平台中选择相应产品。无论是要求特别的刚度还是更注重成本,ALIO均可提供各种配置以满足当今的纳米精度应用。

机械压电驱动旋转平台

Mechanical Piezo Driven Rotary Stages
机械压电驱动旋转平台
  早在2001年,ALIO已开发出压电伺服旋转平台。现有适用于大气以及超高真空应用的平台,可根据不同的扭矩和精度进行配置,直径范围可从50毫米到200毫米。

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