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气浮导轨系统

  ALIO开发的尖端产品--6自由度纳米定位气浮导轨运动系统,广泛应用在制造、检验、维修和计量等领域。ALIO的气浮产品广泛应用于半导体、航天、喷墨打印、光刻、光学检测、光伏等领域,拥有多项平面和Z轴方面的专利。

  ALIO旗下的纳米精密平面气浮导轨系统已将气浮导轨运动的性能提升到一个全新的水准,该系统的目的就是满足和超越当今半导体晶片、平板显示、纳米制造和光学检测等领域对精密定位系统的苛刻要求。

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平面气浮导轨系统

Planar Air Bearing System
平面气浮导轨系统
   ALIO 的专利产品--XY轴平面气浮导轨系统已成为6自由度纳米定位的行业标杆。该系列产品有着在业内无可匹敌定位精度。X、Y轴行程支持从300毫米到3米以上,本产品已通过NIST的全程检验,在6自由度上均达到可追溯的纳米级精度。该系列产品的平面度小于1微米/米,俯仰度、偏摆度、横转度均小于1弧秒,标准版的重复性小于60纳米,可选配为10纳米。

线性气浮导轨

Linear Air Bearings
线性气浮导轨
  单轴线性气浮导轨平台可用于水平或垂直方向。该系列产品可根据用户的推力需求选配相应的无铁芯伺服马达,行程支持25毫米到3米,均可达到纳米级精度。

NANO Z™

NANO Z™
NANO Z™
  为了满足不断提高的纳米级的计量和加工要求,ALIO摒弃传统设计,设计并制造Z轴升降气浮导轨平台产品,采用Renishaw的标准铟钢编码器,可将精度提高至小于100纳米。该系列产品加配重后可轻松地夹持住重型真空晶圆夹头,在超过24毫米的行程上依然有纳米级精度。

旋转气浮导轨平台和转轴

Rotary Air Bearing Stages and Spindles
旋转气浮导轨平台和转轴
  ALIO的纳米精度旋转气浮导轨产品系列,可支持100毫米以上行程及各种扭矩,以满足广泛的应用范围。不断丰富的产品线具有纳米级的轴向和径向跳动性能,可满足极其精密的需求规格。

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